市面上多數(shù)國(guó)產(chǎn)反射膜厚儀采樣頻率僅 10~30Hz，單次測(cè)量耗時(shí)數(shù)十毫秒，面對(duì)高速自動(dòng)化產(chǎn)線、多點(diǎn)位并行檢測(cè)場(chǎng)景，采樣速度跟不上流水線節(jié)拍，只能降低產(chǎn)線運(yùn)行速度，嚴(yán)重拉低產(chǎn)能；進(jìn)口設(shè)備雖可達(dá)百赫茲，但整機(jī)、配套軟件加價(jià)幅度，中小制造企業(yè)采購(gòu)成本壓力巨大。藍(lán)景 LJ-FT50 系列最高支持100Hz 同步采樣，每秒完成 100 次獨(dú)立膜厚測(cè)算，高速采集硬件架構(gòu)兼顧測(cè)量精度與量產(chǎn)效率，產(chǎn)線適配能力全面超越低速采樣簡(jiǎn)易機(jī)型。

設(shè)備搭載高速并行光譜采集芯片，干涉光譜完整采集、模型擬合、厚度輸出全鏈路并行運(yùn)算，無(wú)串行計(jì)算延遲；采樣速率可根據(jù)膜層復(fù)雜度自適應(yīng)調(diào)節(jié)，單層薄膜穩(wěn)定滿(mǎn)速 100Hz 運(yùn)行，多層復(fù)合膜自動(dòng)匹配求解幀率，平衡速度與擬合精度，不會(huì)為提速犧牲測(cè)量可靠性。自動(dòng)化產(chǎn)線搭配運(yùn)動(dòng)平臺(tái)多點(diǎn)掃描時(shí)，百赫茲采樣可同步抓取連續(xù)點(diǎn)位膜厚數(shù)據(jù)，完整繪制整版晶圓、整片面板膜厚均勻性分布圖，無(wú)數(shù)據(jù)缺失斷點(diǎn)。

傳統(tǒng) 30Hz 以?xún)?nèi)低速設(shè)備，自動(dòng)化產(chǎn)線掃描需放慢移載速度，單條產(chǎn)線日均產(chǎn)能下降 15% 以上；本機(jī)無(wú)需改動(dòng)現(xiàn)有流水線節(jié)拍，直接兼容高速鍍膜、涂覆、顯影量產(chǎn)工位，大幅降低產(chǎn)線改造投入。同時(shí)配套專(zhuān)用上位機(jī)軟件支持海量高速數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)存儲(chǔ)、批量導(dǎo)出、趨勢(shì)分析，可對(duì)接產(chǎn)線 MES 系統(tǒng)實(shí)時(shí)上傳厚度數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)工藝閉環(huán)管控。適配新能源薄膜、顯示面板、光學(xué)元件大批量連續(xù)生產(chǎn)，高速采樣性能從源頭解決量產(chǎn)檢測(cè)效率瓶頸。